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2025-07-17
產品型號：
產品介紹晶圓電鍍設備
A-52硅片電鍍實驗裝置
2-12英寸硅片電鍍設備一套。通過使用特殊的夾具，可以進行半導體和MEMS的精密電鍍。
特征
水族箱的結構是不斷進行過濾，同時從水箱底部產生溫和的對流，導致溢出。
有可進行高速攪拌的1面溢流型和2面溢流型。使用槳式攪拌直接攪拌。
基材材質
它不僅可用于硅晶圓，還可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。
關于定制生產
基于標準設備，我們可以定制形狀與您的樣品相匹配的夾具和雙面電鍍夾具。我們
還擁有陽極氧化和陽極氧化夾具等制造設備的跟蹤記錄。
夾具有全密封夾具、非密封夾具、臥式夾具等多種類型，請隨時通過
設置細分
A-52-ST□AWJYPPA 硅片電鍍實驗裝置WJ型（YPP電源用）
| 產品編號 | 產品名稱 | 數量 |
A-52-ST□-P01A | 硅片水箱（亞克力雙層底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A | 硅片用陰極盒（標準型）（*1） | 1 |
| A-52-ST□-P09A | 硅片陽極支架（帶拉絲陽極背面）（*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 槳式攪拌裝置 | 1 |
B-90-A20-APFA05 / | 迷你迷你過濾器20APFA型（2至6英寸用） 迷你迷你過濾器40APFWJ型（8英寸用） | 1 |
| A-63-M202 B-92-M10-P04A | 氣泵 M202 (AC100V) (2~4inch) | 1 |
| A-52-P18 | 空氣過濾器 | 1 |
| A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A | 晶圓水箱加熱器 WJ2型（2英寸） 300W PFA涂層加熱器（AC100V） 300W石英小型浸入式加熱器 WJB型（5-6英寸） 500W石英加熱器（8英寸） | 2 1 3 3 |
| – | 溫度傳感器、加熱器塞 | 1 |
(*1) 請選擇定向平面型/缺口型。 還備有密封型/吸入密封型
（*2）不溶性陽極也備有隔膜型。
(*3) 英寸數填寫在產品編號的□標記中。
(*) 這是一套適用于 YPP 電源的電源、溫度控制器和陽極板單獨出售。請與A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D分開電源。PC單獨出售。
強力攪拌水箱（雙面溢流式，實現約兩倍的攪拌速度）
通過將溢流從一側更改為兩側，槳式攪拌速度已增加至最大 130 rpm。液體攪拌效率提高，電鍍更加穩定。我們還增加了液體防濺結構。
| 產品編號 | 產品名稱 | 數量 |
A-52-ST□-U | 硅片水箱（亞克力雙層底型） | 1 |
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聯系人：袁蘭香
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